【科研创新】重庆市重大专项“晶圆倒角机关键技术研究及应用”项目启动 校企共建研发中心破解半导体装备难题

作者: 发布时间:2025-09-18 点击数量:

9月18日,重庆市技术创新与应用发展专项重大项目“晶圆倒角机关键技术研究及应用”启动会在学校举行。会议由奥松半导体(重庆)有限公司主办,重庆工业职业技术大学承办,重庆市科技局作为主管单位全程指导,重庆大学、重庆理工大学等7家高校及科研院所、企业共同参与,标志着重庆在半导体关键装备自主研发领域迈出重要步伐。


晶圆倒角机是芯片制造流程中的核心装备,其技术水平直接决定晶圆几何精度与表面质量,对提升芯片良品率至关重要,技术攻关需跨机械工程、材料科学、自动化控制等多学科。该项目依托机械工程学院老师前期研究基础,申报立项重庆市技术创新与应用发展重大专项,是我校的重大科研突破。该项目的启动,深度契合重庆市“416”科技创新布局与“33618”现代制造业集群体系建设需求,对重庆打造国家重要先进制造业中心具有战略意义。

启动会现场,学校与奥松半导体(重庆)有限公司共同为“高端智能装备研发中心”揭牌。该中心将构建“人才共育、过程共管、成果共享、风险共担”的校企协同创新机制,助力突破晶圆倒角机关键技术瓶颈,为持续研发成套半导体工艺设备提供有力支撑。


重庆市科技局党委副书记许志鹏在讲话中强调,半导体产业是国家战略性产业,晶圆倒角机研发是解决难题的重要实践。市科技局将全程做好“服务员”与“护航员”,并提出三点期望:一是聚焦国家战略需求,力争研制出具有自主知识产权的装备,填补国内空白;二是各参与单位加强协同,形成攻关“集团军”;三是加速成果转化,服务重庆现代制造业集群发展。

周传德校长表示,学校将举全校之力支持项目实施,成立跨部门工作领导小组,整合机械设计、材料科学等优势专业资源,开放共享大型仪器设备,投入专项资金与专用研发场地,赋予科研人员更大技术路线决定权与经费使用自主权,推动产学研用深度融合。

会上,由重庆大学光电工程学院院长朱涛教授牵头的专家组,还对项目实施方案进行质询并形成指导意见。

据了解,参与项目的单位涵盖高校、科研院所与龙头企业,将形成“基础研究+技术攻关+成果产业化”的完整创新链条,为持续研发成套半导体工艺设备提供有力支撑。

拟稿:田丰

编辑:田丰

初审:黄田田

终审:王丽



 

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